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數(shù)字化工廠物流供應鏈聯(lián)合創(chuàng)新典范，突破封鎖助力中國芯

應用：半導體生產(chǎn)線對晶棒、晶圓片等原料的無人化智能上下料
應用：半導體生產(chǎn)線對晶棒、晶圓片等原料的無人化智能上下料
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用戶是國內(nèi)知名的半導體晶圓生產(chǎn)企業(yè)，近年來面對市場柔性化的生產(chǎn)需求，亟需提升廠內(nèi)物料搬運的靈活性和穩(wěn)定性。


挑戰(zhàn)

針對晶圓昂貴且易碎的特性，用戶需要實現(xiàn)平穩(wěn)安全的配送。且無塵室的作業(yè)環(huán)境，產(chǎn)品加工工序復雜繁多，用戶希望借助移動機器人來提升廠內(nèi)物流配送效率，增強產(chǎn)線生產(chǎn)的靈活性和應變能力。


方法

用戶部署了數(shù)臺迦智EMMA400舉升車、EMMA 400升降輥筒車、復合移動作業(yè)機器人和調(diào)度系統(tǒng)CLOUDIA。

根據(jù)下發(fā)的指令信息，EMMA400輥筒車前往原料庫取出硅棒，送至粘棒間；EMMA400舉升車將料盤分別在粘棒間、線切區(qū)域及脫膠清洗等各制造工序間流轉(zhuǎn)；復合移動作業(yè)機器人則配合產(chǎn)線需要，進行晶圓半成品在各制造工作站間的自主轉(zhuǎn)運和上下料。所有的機器人通過調(diào)度系統(tǒng)CLOUDIA的統(tǒng)一調(diào)度，高效協(xié)同作業(yè)，全程無人干預。


成果

項目成功實施后，用戶改善了產(chǎn)線產(chǎn)能，提升了產(chǎn)線智能化水平，實現(xiàn)靈活移動、精密上下料，極大提升了生產(chǎn)柔性。


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